全球晶圆厂纷纷扩产能，半导体设备材料迎来新发展机遇，成为资本角逐的焦点，国家集成电路产业投资基金二期(简称“大基金二期”)也加快了在半导体设备领域的投资。

　　10月18日晚，至纯科技披露，公司控股子公司至微科技拟通过增资扩股引入战略投资者并进行部分股权转让，本次增资方包括大基金二期及其一众“小兄弟”。

　　根据通告，至微科技本次拟引入投资方包括：深圳市远致星火私募股权投资基金合伙企业(有限合伙)(简称“远致星火”)、大基金二期、中国国有企业混合所有制改革基金有限公司(简称“混改基金”)、中小企业发展基金(绍兴)股权投资合伙企业(有限合伙)(简称“中芯聚源”)、上海半导体装备材料产业投资基金合伙企业(有限合伙)(简称“装备材料基金”)、中青芯鑫鼎橡(上海)企业管理合伙企业(有限合伙)(简称“芯鑫鼎橡”)、平潭溥博芯诚股权投资合伙企业(有限合伙)、上海芯晟至远企业管理合伙企业(有限合伙)(简称“芯晟至远”)。上述投资方合计向至微科技增资4.2亿元，其中7644万元计入注册资本，其余34356万元计入资本公积。

　　本次增资前，至微科技注册资本为4.55亿元，估值25亿元(增值率485.36%)，对应5.4945元/注册资本。本次增资后，至纯科技持有至微科技的股份由99.34%降至77.11%；大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡分别持有3.42%、3.42%、1.71%、1.03%、1.03%的股权。

　　简单计算，大基金二期、混改基金、中芯聚源、装备材料基金、芯鑫鼎橡的投资金额分别为1亿元、1亿元、5000万元、3000万元、3000万元。

　　同时，公司将持有的至微科技对应本次增资42000万元后的7.95%的股权以2.32亿元转让给远致星火，其中4222.40万元计入至微科技注册资本，18977.60万元计入资本公积。

　　除了大基金二期，上述增资各方也是“颇有来头”。装备材料基金、芯鑫鼎橡都是大基金的“小兄弟”。记者查阅，大基金、万业企业分别持有装备材料基金的股权19.8%、19.8%。芯鑫鼎橡的股权结构显示，其最终控股股东为大基金的子基金芯鑫租赁。中芯聚源的背后则是中芯国际。

　　天眼查显示，远致星火的投资机构为深圳资本。深圳资本是深圳市国资委为推进国资管理从管资产向管资本转变、推动深圳国资整体资本运作战略，专门成立的国资辅助履职平台和国有资本运营专业平台。

　　此外，混改基金的第一大股东为中国诚通控股集团有限公司，持股比例为33.9463%。芯晟至远则为“员工持股平台”，其执行事务合伙人陆磊、有限合伙人之一沈一林为公司高级管理人员。

　　深得大基金二期等资本大鳄青睐，至微科技到底有什么魅力？

　　资料显示，至微科技成立于2017年10月，是承载至纯科技重要战略决策“从工艺装备支持系统到工艺装备”、投入湿法设备研发和产业化的主体，累计已获得来自各大集成电路制造领先企业的湿法设备订单超过160台，成为国内湿法设备的主要供应商之一。

　　记者了解到，通过高强度资源投入和自主研发，至纯科技已具备8英寸、12英寸湿法工艺全系列设备，产品覆盖先进制程逻辑电路、高密度存储、化合物半导体特色工艺等细分领域的市场需求，并在各细分领域取得一线客户的订单。

　　对于本次引入战投，抖客网，至纯科技表示，是为进一步加快实现至微科技成为国内湿法设备领头羊的战略目标，提高产业资源整合能力。芯晟至远参与本次对至微科技的增资，有利于激励公司管理层积极投入公司业务发展，对至微科技的经营发展产生积极的推动作用。